产品服务
1、CMOS,分立器件,功率器件, GeSi和埋层等外延
2、外延片直径:76、100、125、150、200 mm
3、月生产能力10万片以上(6英寸外延片)
4、10级洁净厂房
5、外延炉:
LPE3061
LPE2061s
CSD EpiPro 5000
ASM Epsilon2000
Rexon 2
6、硅源:
三氯氢硅
二氯氢硅
硅烷
7、掺杂源:
B2H6
PH3
AsH3
8、生长模式:
常压
减压
9、客户特定参数