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碳化硅外延技术规范

文章作者:poshing 上传更新:2024-05-03
型号 4英寸N型 6英寸N型
厚度 120微米及以下 120微米及以下
浓度区间 2E14-1E19 cm-3 8E14-1E19 cm-3
浓度均匀性 ≤8% ≤8%
厚度均匀性 ≤2% ≤2%

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